Die Entwicklung von Analysenverfahren zur Untersuchung ausgewählter reaktiver Prozessgase (Chlor, Chlorwasserstoff, Bortrichlorid und Dichlorsilan) ohne Probenvorbereitung im Hinblick auf… Altro …
Die Entwicklung von Analysenverfahren zur Untersuchung ausgewählter reaktiver Prozessgase (Chlor, Chlorwasserstoff, Bortrichlorid und Dichlorsilan) ohne Probenvorbereitung im Hinblick auf ihren Einsatz in der Halbleiterfertigung und den damit verknüpften Anforderungen an die Nachweisstärke der Verfahren bildet den Schwerpunkt des vorliegenden Buches. Verschiedene atomspektrometrische Methoden wie die Graphitrohratomabsorptionsspektrometrie (GFAAS), Mikrowelleninduziertes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (MIP-AES), Nichtdispersive Atomfluoreszenzspektrometrie (NAFS) und Induktiv gekoppeltes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (ICP-AES) wurden für die Ausarbeitung der Verfahren eingesetzt sowie deren Möglichkeiten und Grenzen aufgezeigt. Aufgrund der physikalisch-chemischen Eigenschaften der Gase und ihrer Reaktivität ist die Auswahl der Materialien des Gaseinführungs- und Analysensystems von entscheidender Bedeutung für eine richtige Analyse. Sowohl technische Modifikationen als auch Kalibrierungsmöglichkeiten werden präsentiert. Bücher > Sachbücher > Naturwissenschaften & Technik > Chemie 22.0 cm x 15.0 cm x 0.9 cm mm , VDM, Taschenbuch, VDM<
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*Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen* - Entwicklungen Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren in der Prozessgasanalytik / Taschenbuch für 59 € / Aus dem Bereich: Bücher, Wissenschaft, Technik Medien > Bücher nein Buch (kartoniert) Hardcover;Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik;Chemie, VDM Verlag Dr. Müller<
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*Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen* - Entwicklungen Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren in der Prozessgasanalytik / Taschenbuch für 59 € / Aus dem Bereich: Bücher, Wissenschaft, Technik Medien > Bücher nein Buch (kartoniert) Hardcover;Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik;Chemie, VDM Verlag Dr. Müller<
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Informazioni dettagliate del libro - Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen
EAN (ISBN-13): 9783639034356 ISBN (ISBN-10): 363903435X Copertina rigida Copertina flessibile Anno di pubblicazione: 2008 Editore: VDM Verlag Dr. Müller 144 Pagine Peso: 0,231 kg Lingua: ger/Deutsch
Libro nella banca dati dal 2009-01-31T08:57:19+01:00 (Zurich) Pagina di dettaglio ultima modifica in 2023-09-17T15:13:08+02:00 (Zurich) ISBN/EAN: 9783639034356
ISBN - Stili di scrittura alternativi: 3-639-03435-X, 978-3-639-03435-6 Stili di scrittura alternativi e concetti di ricerca simili: Titolo del libro: verfahren, spurenelemente, die bestimmung
