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Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (SPIE Tutorial Texts in Optical Engineering Vol. TT47) - Livres de poche

ISBN: 0819439959

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Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography - nouveau livre

ISBN: 9780819439956

Ever-smaller IC devices are pushing the optical lithography envelope, increasing the importance of resolution enhancement techniques. This tutorial encompasses two decades of research. It… Plus…

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2001

ISBN: 9780819439956

SPIE Press, Taschenbuch, 214 Seiten, Publiziert: 2001-03-31T00:00:01Z, Produktgruppe: Book, Verkaufsrang: 4751601, Elektrotechnik, Ingenieurwissenschaft & Technik, Naturwissenschaften & T… Plus…

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Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography, Tutorial Texts in Optical Engineering, V. Tt 47 - livre d'occasion

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Détails sur le livre
Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (Tutorial Texts in Optical Engineering, V. Tt 47)
Auteur:
Titre:
ISBN:

0819439959


This tutorial summarizes optical lithography enhancement research and development over the past 20 years. Discusses theoretical and practical aspects of commonly used techniques, including optical imaging and resolution, modified illumination, optical proximity correction, alternating and attenuating phase-shifting masks, selecting RETs, and second-generation RETs. Useful for students and practicing lithographers.

Contents

- Foreword
- Preface
- List of symbols
- Introduction
- Optical imaging and resolution
- Modified illumination
- Optical proximity correction
- Alternating phase-shifting mask
- Attenuated phase-shift mask
- Selecting appropriate RETs
- Second-generation RETs
- Concluding remarks
- k1 conversion charts
- Bibliography
- Index

Informations détaillées sur le livre - Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (Tutorial Texts in Optical Engineering, V. Tt 47)


EAN (ISBN-13): 9780819439956
ISBN (ISBN-10): 0819439959
Livre de poche
Date de parution: 2001
Editeur: SPIE Press

Livre dans la base de données depuis 2007-06-05T04:55:43+02:00 (Zurich)
Page de détail modifiée en dernier sur 2020-03-15T14:40:47+01:00 (Zurich)
ISBN/EAN: 0819439959

ISBN - Autres types d'écriture:
0-8194-3995-9, 978-0-8194-3995-6
Autres types d'écriture et termes associés:
Auteur du livre: kit wong
Titre du livre: resolution, spie vol, enhancement

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