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Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik
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Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik - nouveau livre

ISBN: 9783638052771

Vor dem Hintergrund der in der Mikroelektronik-Fertigung heute verbreiteten Kupfertechnologie werden in der vorliegenden Arbeit drei neuartige metallorganische Verbindungen, nämlich … Plus…

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2008, ISBN: 363805277X

Diplomarbeit aus dem Jahr 2004 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1,3, Technische Universität Chemnitz (Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, Zentrum für Mikrotechnologie… Plus…

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*Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik* - 1. Auflage / epub eBook für 36.99 €… Plus…

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Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik - Première édition

2008, ISBN: 9783638052771

eBooks, eBook Download (EPUB,PDF), 1. Auflage, [PU: GRIN Verlag], GRIN Verlag, 2008

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Détails sur le livre

Informations détaillées sur le livre - Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik


EAN (ISBN-13): 9783638052771
ISBN (ISBN-10): 363805277X
Date de parution: 2004
Editeur: GRIN Verlag

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ISBN/EAN: 363805277X

ISBN - Autres types d'écriture:
3-638-05277-X, 978-3-638-05277-1
Autres types d'écriture et termes associés:
Auteur du livre: wachtler, wachtl, grin verlag, wächtler
Titre du livre: mikroelektronik, metallisierung, gasphase, die kupfer, chemische gasphasenabscheidung, die von der


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