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Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik - - nouveau livre
2008, ISBN: 363805277X
Diplomarbeit aus dem Jahr 2004 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1,3, Technische Universität Chemnitz (Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, Zentrum für Mikrotechnologie… Plus…
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Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik - Première édition
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Informations détaillées sur le livre - Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik
EAN (ISBN-13): 9783638052771
ISBN (ISBN-10): 363805277X
Date de parution: 2004
Editeur: GRIN Verlag
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ISBN/EAN: 363805277X
ISBN - Autres types d'écriture:
3-638-05277-X, 978-3-638-05277-1
Autres types d'écriture et termes associés:
Auteur du livre: wachtler, wachtl, grin verlag, wächtler
Titre du livre: mikroelektronik, metallisierung, gasphase, die kupfer, chemische gasphasenabscheidung, die von der
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