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2010, ISBN: 9783639076356

[ED: Taschenbuch / Paperback], [PU: VDM Verlag Dr. Müller], In this work we present the results of the thin films of boron nitride deposited by D.C. and R.F. magnetron sputtering from hot… Plus…

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2010, ISBN: 9783639076356

[ED: Softcover], [PU: VDM Verlag Dr. Müller], In this work we present the results of the thin films of boron nitride deposited by D.C. and R.F. magnetron sputtering from hot-pressed B4C a… Plus…

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Boron nitride thin films - Livres de poche

2010

ISBN: 3639076354

[EAN: 9783639076356], Neubuch, [PU: VDM Verlag Jul 2010], Neuware - In this work we present the results of the thin films of boron nitride deposited by D.C. and R.F. magnetron sputtering … Plus…

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2010, ISBN: 9783639076356

VDM Verlag Dr. Müller, Taschenbuch, 96 Seiten, Publiziert: 2010-08-10T00:00:01Z, Produktgruppe: Buch, 0.34 kg, Maschinenbau, Ingenieurwissenschaften, Fachbücher, Kategorien, Bücher, Ingen… Plus…

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Détails sur le livre
Boron nitride thin films: deposited by magnetron sputtering on Si3N4
Auteur:
Titre:
ISBN:

3639076354


In this work we present the results of the thin films of boron nitride deposited by D.C. and R.F. magnetron sputtering from hot-pressed B4C and h-BN targets on two different substrates: Si3N4 ceramics with different surface finishing and Si(100) wafers. The influence of parameters such as substrate temperature and working gas composition ratio (N2 or Ar), on film thickness, deposition rate, cristallinity, residual stress, phase composition and hardness, were systematically investigated using techniques like SEM, XRD, FT-IR and nanohardness.

Informations détaillées sur le livre - Boron nitride thin films: deposited by magnetron sputtering on Si3N4


EAN (ISBN-13): 9783639076356
ISBN (ISBN-10): 3639076354
Version reliée
Livre de poche
Date de parution: 2010
Editeur: VDM Verlag Dr. Müller

Livre dans la base de données depuis 2007-12-22T15:17:24+01:00 (Zurich)
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ISBN/EAN: 3639076354

ISBN - Autres types d'écriture:
3-639-07635-4, 978-3-639-07635-6
Autres types d'écriture et termes associés:
Titre du livre: boron, magnetron, thin films, seeing through films, nitride, sputtering

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