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High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance (Materials Science and Process Technology) - Première édition

1996, ISBN: 9780815517894

William Andrew, Kindle Edition, Auflage: 1, 465 Seiten, Publiziert: 1996-12-31T00:00:00.000Z, Produktgruppe: Digital Ebook Purchas, Architecture & Microprocessors, Computer Science, Compu… Plus…

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High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance Oleg A. Popov Author - nouveau livre

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This book describes the design, physics, and performance of high density plasma sources which have been extensively explored in low pressure plasma processing, such as plasma etching and … Plus…

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High Density Plasma Sources - Première édition

1996, ISBN: 9780815517894

Design, Physics and Performance, eBooks, eBook Download (EPUB,PDF), Auflage, [PU: Elsevier Science], Seiten: 465, [ED: 1], Elsevier Science, 1996

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Informations détaillées sur le livre - High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance Oleg A. Popov Author


EAN (ISBN-13): 9780815517894
Date de parution: 12
Editeur: Elsevier Science Digital >16

Livre dans la base de données depuis 2007-04-21T06:55:58+02:00 (Zurich)
Page de détail modifiée en dernier sur 2024-01-26T08:11:06+01:00 (Zurich)
ISBN/EAN: 9780815517894

ISBN - Autres types d'écriture:
978-0-8155-1789-4
Autres types d'écriture et termes associés:
Auteur du livre: oleg popov
Titre du livre: sources the self, high performance, plasma physics, popov oleg, design design


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